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大口徑高精密鏡面

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大口徑高精密鏡面加工


高精密光學(xué)鏡面采用超精密數(shù)控研磨與離子束拋光工藝,實現(xiàn)納米級面形精度,其中大口徑鏡面(≥1米)波像差可加工至λ/60(@632.8nm);中小口徑鏡面通過磁流變拋光確定性修形,波像差可加工至λ/60-λ/80(@632.8nm)。


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